晶盛機(jī)電成功研發(fā)出8英寸N型SiC晶體
8月12日消息,經(jīng)過晶體實(shí)驗(yàn)室研發(fā)團(tuán)隊(duì)半年多的技術(shù)攻關(guān),晶盛首顆8英寸N型SiC晶體成功出爐,標(biāo)志著晶盛第三代半導(dǎo)體材料SiC研發(fā)自此邁入8英寸時(shí)代,同時(shí)這也是晶盛在寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域取得的又一標(biāo)志性成果。
據(jù)了解,此次研發(fā)成功的8英寸SiC晶體,晶坯厚度25mm,直徑214mm,是晶盛在大尺寸SiC晶體研發(fā)上取得的重大突破。
在技術(shù)上,晶盛成功解決了8英寸晶體生長過程中多個難點(diǎn)問題,比如溫場不均、晶體開裂、氣相原料分布等等。
此外,還破解了SiC器件成本中襯底占比過高的難題,為大尺寸SiC襯底廣泛應(yīng)用打下基礎(chǔ)。
SiC晶體生長和加工技術(shù)自主可控是搶占未來競爭制高點(diǎn)的關(guān)鍵。晶盛機(jī)電通過自主開發(fā)的設(shè)備、熱場和工藝技術(shù),不斷延伸產(chǎn)品系列。
2017年,晶盛開始布局碳化硅業(yè)務(wù)。
2020年,建立長晶和加工中試線,SiC晶體直徑也從最初的4英寸增大到如今的8英寸,進(jìn)一步縮小國內(nèi)外技術(shù)差距,保障我國碳化硅產(chǎn)業(yè)在關(guān)鍵核心技術(shù)上的自主可控。
而此次8英寸SiC導(dǎo)電單晶研制成功,也極大地提升了晶盛在SiC單晶襯底行業(yè)的國際競爭力。
據(jù)悉,晶盛機(jī)電創(chuàng)建于2006年12月,目前已組建原料合成+長晶+切磨拋的中試產(chǎn)線,,并完成6-8英寸長晶熱場和設(shè)備開發(fā),產(chǎn)出6英寸襯底,在總厚度變化率(TTV)可穩(wěn)定達(dá)到<3μm。
據(jù)悉,晶盛機(jī)電攜碳化硅襯底晶片生產(chǎn)項(xiàng)目落戶寧夏。該項(xiàng)目總投資50億元,該項(xiàng)目分兩期建設(shè),將建設(shè)約7.5萬平方米廠房及輔助設(shè)施,主要生產(chǎn)6英寸及以上導(dǎo)電型和半絕緣型碳化硅襯底晶片。一期預(yù)計(jì)3月開工建設(shè),投資總額33.6億元,一期建成達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)年產(chǎn)6英寸碳化硅晶片40萬片,年?duì)I業(yè)收入24億元。
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