黃河旋風碳化硅切割專用金剛線研制成功并投放市場
近日,河南黃河旋風股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發(fā)取得突破,經多家客戶使用,其產品性能已完全達到甚至超過日本同類產品水平,不論在切割效率、切割質量還是切割穩(wěn)定性,均全面優(yōu)于現有砂漿切割水平。
近年來,以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導體產業(yè)發(fā)展迅猛,國家高度重視,企業(yè)積極布局,整個行業(yè)呈現爆發(fā)式的增長勢頭。碳化硅材料作為第三代半導體之一,具有優(yōu)異的性能,同時也具有難加工的特點,其超高的硬脆性特點導致加工難度大、風險高、效率低、良品率不高,尤以切割為難點。目前市場上主要以金剛石砂漿切割為主,切割速度慢,效率低,砂漿利用率低,成本居高不下,砂漿用微粉供應已達極限,固結金剛線替代砂漿切割已成必然趨勢。
目前市場上能夠穩(wěn)定供應的碳化硅切割線僅有日本某企業(yè),在美日等國對我國芯片行業(yè)打壓的大背景下,碳化硅切割金剛線的國產化就特別迫切。然而碳化硅晶圓價值高,要求切割低風險、高質量,對金剛線的質量要求就極為嚴苛。
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