哈爾濱科友半導(dǎo)體6英寸碳化硅襯底正式投產(chǎn)
據(jù)粉體圈消息:8月18日,位于哈爾濱新區(qū),投資10億元建設(shè)的科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項(xiàng)目一期正式投產(chǎn),預(yù)計(jì)年底全部達(dá)產(chǎn)后可形成年產(chǎn)能10萬片6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)能力。
據(jù)悉,哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司(科友半導(dǎo)體)成立于2018年,是一家專注于第三代半導(dǎo)體裝備研發(fā)、襯底制造、器件設(shè)計(jì)、技術(shù)轉(zhuǎn)移和科研成果轉(zhuǎn)化的國家級高新技術(shù)企業(yè)。去年7月,科友半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項(xiàng)目正式開工建設(shè)。主要建設(shè)中俄第三代半導(dǎo)體研究院、中外聯(lián)合技術(shù)創(chuàng)新中心、科友半導(dǎo)體襯底制備中心、科友半導(dǎo)體高端裝備制造中心、國際孵化基地、科友半導(dǎo)體產(chǎn)品檢驗(yàn)檢測中心、人工寶石展覽館等項(xiàng)目。項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后,最終形成年產(chǎn)高導(dǎo)晶片近10萬片,高純半絕緣晶體1000公斤的產(chǎn)能;PVT-SIC晶體生長成套設(shè)備年產(chǎn)銷200臺套。
科友半導(dǎo)體研制的碳化硅感應(yīng)長晶爐已實(shí)現(xiàn)99%的部件國產(chǎn)化替代,電阻式長晶爐也具備投產(chǎn)條件。在碳化硅晶體生長方面,科友半導(dǎo)體在6英寸碳化硅單晶厚度上突破32毫米,達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先。同時(shí),在長晶周期、生產(chǎn)成本、晶體良率等方面已經(jīng)達(dá)到并保持國際同行業(yè)先進(jìn)水平。按照企業(yè)發(fā)展規(guī)劃,未來兩年科友半導(dǎo)體將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)20萬-30萬片碳化硅襯底的產(chǎn)能,成為全球碳化硅襯底重要供應(yīng)商之一。
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