碳化硅襯底10年自主創(chuàng)新之路
美國科銳公司作為碳化硅襯底提供商,曾長期壟斷國際市場。2011年,科銳公司發(fā)布了6英寸碳化硅晶體,同年,天科合達(dá)才開始量產(chǎn)4英寸碳化硅晶體。
2013年,陳小龍團(tuán)隊(duì)開始進(jìn)行6英寸碳化硅晶體的研發(fā)工作,用了近一年的時間,團(tuán)隊(duì)研發(fā)的國產(chǎn)6英寸碳化硅單晶襯底問世。測試證明,國產(chǎn)6英寸碳化硅晶體的結(jié)晶質(zhì)量很好,該成果標(biāo)志著物理所碳化硅單晶生長研發(fā)工作已達(dá)到國際先進(jìn)水平,可以為高性能碳化硅基電子器件的國產(chǎn)化提供材料基礎(chǔ)。“雖然起步有點(diǎn)晚,但通過10多年的自主研發(fā),我們與國外的技術(shù)差距在逐步縮小。”陳小龍說。作為國內(nèi)碳化硅晶片生產(chǎn)制造的先行者,天科合達(dá)打破了國外壟斷,填補(bǔ)了國內(nèi)空白,生產(chǎn)的碳化硅晶片不僅技術(shù)成熟,還低于國際同類產(chǎn)品價格。
截至2014年3月,天科合達(dá)形成了一條年產(chǎn)7萬片碳化硅晶片的生產(chǎn)線,促進(jìn)了我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展,取得了較好的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。
陳小龍指出,當(dāng)前碳化硅主要應(yīng)用于三大領(lǐng)域:高亮度LED、電力電子以及先進(jìn)雷達(dá),以后還可能走進(jìn)家用市場,這意味著陳小龍團(tuán)隊(duì)的自主創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化之路還將延續(xù)。
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