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高純度碳化硅生長原料合成技術

文章出處:粉體網(wǎng)網(wǎng)責任編輯:作者:山川人氣:-發(fā)表時間:2022-03-14 15:40:00【

生長SiC單晶用的SiC粉體純度要求很高,其中雜質含量應至少低于0.001%。在眾多SiC粉合成方法中,氣相法通過控制氣源中的雜質含量可以獲得純度較高的SiC粉體;液相法中只有溶膠-凝膠法可以合成純度滿足單晶生長需要的SiC粉體;固相法中的改進自蔓延高溫合成法將固態(tài)的Si源和C源作為原料,使其在1400~2000℃的高溫下持續(xù)反應,最后得到高純SiC粉體,是目前使用范圍最廣,合成工藝最成熟的SiC粉體的制備方法。

天岳先進使用的高純碳化硅是將高純硅粉和高純碳粉按工藝配方均勻混合,在2000℃以上的高溫條件下,于反應腔室內通過特定反應工藝,去除反應環(huán)境中殘余的、反應微粉表面吸附的痕量雜質,使硅粉和碳粉按照既定化學計量比反應合成特定晶型和顆粒度的碳化硅顆粒。再經過破碎、篩分、清洗等工序,制得滿足晶體生長要求的高純度碳化硅粉原料。

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