碳化硅陶瓷凝膠注模成型工藝
凝膠注成型工藝是制備碳化硅陶瓷部件的基礎(chǔ),該工藝是一種精細(xì)的膠態(tài)成型工藝(Colloidalprocessing),可實(shí)現(xiàn)大尺寸、復(fù)雜結(jié)構(gòu)坯體的高強(qiáng)度、高均勻性、近凈尺寸成型,陶瓷料漿制備是凝膠注模成型工藝中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。
就碳化硅在光刻機(jī)構(gòu)件中的應(yīng)用而言,分散良好、高穩(wěn)定性水基碳/碳化硅料漿的制備是獲得優(yōu)質(zhì)、均勻結(jié)構(gòu)碳/碳化硅坯體的前提。此外,料漿具有高的固相體積分?jǐn)?shù)則可以有效減小陶瓷坯體干燥時(shí)的收縮,有利于實(shí)現(xiàn)陶瓷部件的近凈尺寸成型。相應(yīng)地,陶瓷料漿的制備需要解決兩大難題:一是碳和碳化硅兩種陶瓷粉料在相同條件下的均勻分散,二是盡可能提高料漿的固相含量。
制漿完成后,凝膠注模成型工藝通常采用丙烯酰胺(AM)和N,N’-亞甲基雙丙烯酰胺(MBAM)等作為有機(jī)單體,以過(guò)硫酸鹽作為引發(fā)劑,通過(guò)單體自由基聚合實(shí)現(xiàn)對(duì)陶瓷懸浮體的原位固化成型。但對(duì)于含碳陶瓷料漿,常規(guī)方式的聚合誘導(dǎo)期很短,實(shí)現(xiàn)凝膠注模成型則相對(duì)困難,需加入在碳基體系料漿里能夠延緩單體聚合的添加劑,使陶瓷料漿有充足的時(shí)間充滿復(fù)雜模具,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜形狀制品的制備。
相關(guān)資訊
最新產(chǎn)品
同類文章排行
- 碳化硅微粉:噴砂與磨料行業(yè)中的明星材料
- 碳化硅、白剛玉等磨料微粉是如何進(jìn)行顆粒整形?
- 大面積碳化硅陶瓷膜層化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)
- 碳化硅陶瓷反應(yīng)連接技術(shù)
- 高精度碳化硅陶瓷制品無(wú)模成型工藝
- 碳化硅陶瓷凝膠注模成型工藝
- 集成電路制造裝備用精密陶瓷結(jié)構(gòu)件的特點(diǎn)
- 固相燒結(jié)碳化娃(SSiC)優(yōu)缺點(diǎn)
- 如何實(shí)現(xiàn)碳化硅晶圓的高效低損傷拋光?
- 一張圖:碳化硅這樣提純,能行嗎?