碳化硅在線切割方面的應(yīng)用
首先需要高純度碳化硅微粉,大結(jié)晶碳化硅原材料,這樣可以保證碳化硅切割微粉優(yōu)良的切割性能和穩(wěn)定物理狀態(tài)。顆粒度均勻,顆粒形狀為等積鋒利,保證了碳化硅微粉作為切割材料均勻性。從而保證了被切割材料TTV最小化。在切割過程中最看重的是碳化硅的顆粒形狀。因?yàn)榫€切割時(shí)碳化硅為游離狀態(tài)切割 顆粒的形狀變化對切割效率及切割質(zhì)量要重要影響。
其次,碳化硅具有高熱震穩(wěn)定性和荷重軟化溫度。并且能夠和切割機(jī)有很好的配合性。
最后,碳化硅表面要經(jīng)過特殊的處理,微粉具備大比表面積和清潔外表,與聚乙二醇等切割液有很好的適配性。
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