日本關(guān)西學(xué)院大學(xué)一個研究團(tuán)隊20日宣布，他們研發(fā)出一種超精密尺子，可用于測量納米級別的尺寸。他們研制的這種尺子以硬度僅次于鉆石的碳化硅為主要材料。
   碳化硅質(zhì)地堅硬，很難加工，研究人員為此專門開發(fā)出一種新的加工技術(shù)。他們把碳化硅放入超真空環(huán)境中加熱到約2000攝氏度，再對其表面進(jìn)行切削。采用這一加工技術(shù)，研究人員成功使碳化硅材料表面形成了階梯狀構(gòu)造，階梯的每級“臺階”為0.5納米，相當(dāng)于尺子的一格刻度。據(jù)介紹，研究人員還能把“臺階”的高度做成0.76納米和1納米。
   研究人員表示，這種超精密尺子可廣泛應(yīng)用于超精密儀器、計算機(jī)中央處理器、大規(guī)模集成電路等諸多涉及納米技術(shù)的領(lǐng)域。新型尺子的耐腐蝕性也比傳統(tǒng)的硅制精密尺子更勝一籌。